伺服阀的使用寿命和可靠性与工作液污染度密切相关。工作液不清洁轻则影响产品性能，缩短阀的寿命，重则使产品不能工作。因此，使用者对系统工作液的污染度应予特别重视。使用伺服阀的液压系统必须做到：
1.1安装伺服阀的液压系统必须进行彻底清洗。
新安装的液压系统管路或更换原有管路时，推荐按下列步骤进行清洗：
A在管路预装后进行拆卸、酸洗、磷化；
B然后在组装后进行管路的冲洗。
管路冲洗时，不应装上伺服阀，可在安装伺服阀的安装座上装一冲洗板。如果系统本身允许的话，也可装一换向阀，这样工作管路和执行元件可被同时清洗。向油箱内注入清洗油（清洗油选低粘度的专用清洗油或同牌号的液压油），启动液压源，运转冲洗（系统各元件都能动作，以便清洗其中的污染物）。在冲洗工作中应轻轻敲击管子，特别是焊口和连接部位，这样能起到除去水锈和尘埃的效果。同时要定时检查过滤器，如发生堵塞，应及时更换滤芯，更换下来的纸滤芯、化纤滤芯、粉末冶金滤芯不得清洗后再用，其他材质的滤芯视情况而定。更换完毕后，再继续冲洗，直到油液污染度符合要求，或看不到滤油器滤芯污染为止。排出清洗油，清洗油箱（建议用面粉团或胶泥粘去固定颗粒，不得用棉、麻、化纤织品擦洗），更换或清洗滤油器，再通过5~10的滤油器向油箱注入新油。启动油源，再冲洗24小时，然后更换或清洗滤器，完成管路清洗。
1.2在伺服阀进油口前必须配置公称过滤精度不低于10的滤油器，而且是全流通的非旁路型滤油器。
伺服阀内的过滤器是粗过滤器，是防止偶然“落网”的较大污染物进入伺服阀而设的因此切不可依赖内过滤器起主要防卫作用。过滤器的精度视伺服阀的类型而定，喷嘴挡板阀的绝对过滤精度要求5~10（NAS16385~6级），射流管阀的绝对过滤精度要求10~20（NAS16387~8级）
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